وفقًا لطريقة إمداد الوسيط ، يتم تقسيم المبردات إلى الأنواع التالية:
المضخة المبردة لخزان التخزين: يتم حقن متوسط درجة الحرارة المنخفضة (الهيليوم السائل) مباشرة في خزان التخزين في المضخة لتكثيف الغاز لتحقيق الغرض من الضخ.
مزايا مضخة cryopump لخزان التخزين هي أن المضخة صغيرة الحجم ، بدون اهتزاز ، لا ضوضاء ، وسهلة التشغيل.
إن عيب المضخة المبردة لخزان التخزين هو أن تكلفة التشغيل مرتفعة ، ووقت استخدام كل تعبئة لوسط درجة الحرارة المنخفضة قصير ، ونظام الفراغ الذي يحتاج إلى العمل بشكل مستمر لفترة طويلة يحتاج إلى تجديد العمل بشكل دوري متوسطة ، ومحدودة بظروف الإمداد لمتوسط درجة الحرارة المنخفضة.
عملية cryopump: يتم توصيل أنبوب تبريد لوحة التبريد في المضخة بموسع التبريد ، ويتم تزويد الوسيط المبرد (غاز الهيليوم) إلى المبرد عبر خط الأنابيب الخارجي ، ويمتص حرارة لوح التبريد ، ثم يعود إلى ضاغط التبريد إلى تشكل دورة مغلقة. حجم المضخة ضخم ، وخط الأنابيب معقد ، وفقدان التبريد لخط الأنابيب كبير.
ميزة عملية cryopump هي أنها تتمتع بقوة تبريد كبيرة وهي الأكثر ملاءمة لإزالة حجم الغلاف الجوي أو غرفة تفريغ كبيرة.
مضخة التبريد الصغيرة للثلاجة: تتكون مضخة التبريد الصغيرة للثلاجة ذات الدورة المغلقة من جسم مضخة بدرجة حرارة منخفضة ، ولوحة تبريد لاستخراج الهواء ، ولوحة حماية من الإشعاع ، وثلاجة وضاغط.
أكبر فرق بين المضخة المبردة للثلاجة الصغيرة والمضخة المبردة للعملية هو أن الرأسين الباردين الأول والثاني للثلاجة متصلان مباشرة بشاشة الإشعاع ولوحة التبريد ، والتدفق في خط الأنابيب المتصل بين درجة حرارة الثلاجة والضاغط طبيعية ، درجة حرارة عالية (أو منخفضة). ) وسط غاز مضغوط ، لا توجد مشكلة نقل متوسط درجة الحرارة المنخفضة ، ولها مزايا عملية cryopump وخزان cryopump. إنها مضخة فراغ مثالية نظيفة للغاية في الوقت الحالي.
تستخدم مضخات التبريد الصغيرة للثلاجات على نطاق واسع في تحضير الأغشية الرقيقة ، وتكنولوجيا الإلكترونيات الدقيقة ، وفيزياء الطاقة العالية ، ومعدات القوالب الحلقية الصغيرة وغيرها من المجالات الصناعية.